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布鲁克斯自动化 001-4130-03 真空控制模块

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高精度真空压力调节阀,适用于半导体制造、实验室设备及工业自动化领域的精准气压控制需求。

布鲁克斯自动化 001-4130-03 真空控制模块

这款高精度真空压力调节阀呢,说白了就是为精密工业场景量身打造的控制能手。无论是半导体制造的纳米级工艺,还是实验室设备的微量气体控制,它都能把压力误差控制在头发丝儿级别的精度里。实际应用中,光伏电池镀膜、芯片封装这些对洁净度要求近乎苛刻的场景,用它准没错。

Brooks Automation 001-4130-03

专为严苛环境打造的智能控制中枢

说到底,这玩意儿就是给那些容不得半点误差的工业现场准备的。316不锈钢阀体这身”铁布衫”,在腐蚀性气体面前就跟穿了防弹衣似的。最绝的是内置的智能传感系统,0.1%的调节精度相当于用放大镜盯着压力值跳动,搭配可视化表盘,工艺参数波动立马现形。

Brooks Automation 001-4130-03

核心参数深度解析

参数项 规格详情 特殊优势
控制精度 ±0.1% FS 达到实验室级计量标准
响应速度 <50ms 毫秒级响应满足高速制程
密封等级 1×10-9 Pa·m³/s 符合ISO 14644-1洁净室要求
温度适应性 -20°C至85°C 极端温差下仍保持稳定
接口形式 1/4 NPT+卫生级卡箍 快速安装且无卫生死角

Brooks Automation 001-4130-03

为什么选它?

咱们代理的这款模块,实测连续运行3000小时零漂移,这稳定性在业内算是第一梯队了。作为Brooks Automation的认证经销商(官网直达链接),我们还同步供应:
– ABB机器人DSQC系列备件
– GE Fanuc VMIVME模块
– Bently Nevada 3500系统探头
所有产品均享受24个月超长质保,现货库存4小时内响应发货。

Product Overview (English Version)

The Brooks Automation 001-4130-03 vacuum control module is engineered for precision-critical environments. Featuring a 316 stainless steel body and ±0.1% full-scale accuracy, it delivers lab-grade control in semiconductor manufacturing and photovoltaic production. With sub-50ms response time and ISO 14644-1 certified sealing, this module ensures process stability in extreme conditions. Available in panel-mount or inline configurations, the integrated pressure gauge simplifies real-time monitoring for critical vacuum applications.

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